SOURCE RECORD / 보존 공고
RISE사업단 양자(반도체) 분야 교육연구 인프라 구축을 위한 기자재(노광기) 구매
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단 · 공고번호 R26BK01621048 · 차수 000
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- 공고일
- 2026-07-07 15:44:23
- 품목 분류
- 2321119401
- 공고 표기 단가
- 29,000,000원
- 공고 표기 수량
- 1 대
- 납품 조건
- 현장설치도
- 자료 추출일
- 2026-11-01 (공고일과 다름)
규격과 구성
- Manual & Pneumatic Control system - Manual Aligner system - Sample Size : ∼ 4" wafer - Mask Holder size : multi ∼ 5”x 5” - UV LED Light source with Power supply - Alignment Tooling module with X,Y,Z and Theta motion - Wedge Error Compensation System (Leveling plate type) - Dimension : 1,150(W) X 820(D) X 850(H) mm
[1^2321119401^포토레지스트노광기]
보존된 수정 이력
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| 차수 | 공고일 | 표기 단가 | 표기 수량 | 내용 |
|---|---|---|---|---|
| 000 | 2026-07-07 | 29,000,000원 | 1 대 | 현재 보는 보존본 |
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