에어베어링 리니어 스테이지 구매

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공고일

2026-08-06 15:32:02

품목 분류

2610120701

공고 표기 단가

504,000,000원

공고 표기 수량

1 식

납품 조건

원문 확인 필요

자료 추출일

2026-11-01 (공고일과 다름)

규격과 구성

(1) 시스템 구성: Bottom Frame + Active Isolator + 석정반(Granite Stage) + Gantry 2축+ Gantry Head 2축+ Transfer 3축 일체형 시스템 (2) Bottom Frame: S'Q Pipe & Steel 용접 구조, Wedge Mount 적용, Active Isolator 탑재 (3) 갠트리(AGY1, AGY2)축: 2축 동기 구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링 가이드, 유효 스트로크1,550mm 이상 (4) 갠트리 헤드(AHX1~2)축: 각 축 개별 구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링 가이드, 유효 스트로크1,600mm 이상, 가반하중90kg 이상(전/후면 각 슬라이드 기준) (5) 트랜스퍼(CBY1, CBY2)축: 개별 구동, Core 타입 리니어 모터, LM Guide, 유효 스트로크1,800mm 이상, 가반하중800kg 이상 (6) 트랜스퍼(CBX1)축: 개별 구동, Core 타입 리니어 모터, LM Guide, 스트로크±10mm 이상 (7) 리니어 엔코더: 갠트리부 저열팽창 유리 스케일(Zerodur급 또는 동등 이상), Signal Period 20㎛, 분해능5nm/count 이하 (8) 모션 컨트롤러: Power PMAC급 이상, Cross-Coupled Method 기반 갠트리Yaw 제어 및Vibration Suppression Algorithm(VSA) 적용 가능할 것 (9) Dynamic Yaw 제어를 통한 갠트리 틀어짐 억제(±1㎛ 수준) 가능할 것 (10) 리니어 모터는 온도 센서 내장형을 사용할 것 (11) 케이블 체인은 클린룸 대응형(Cableveryor Quantum Series 또는 동등 이상), 가동 케이블은 클린 케이블(Gore Cable 또는 동등 이상)을 적용할 것 (12) 축별 상세 사양은 「V. 성능 및 사양」의 사양표를 만족할 것 (13) 추후 수냉식 리니어 모터로 변경 가능 할 것

[1^2610120701^리니어모터]

보존된 수정 이력

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이 기록에서 조사로

정확한 모델·구성, 설치·배송·보증·세금, 계약·납품 단계와 당사자 설명을 확인해 사례로 만듭니다. 제보는 비공개로 검토하고 검토된 사례와 확인된 후속 기록을 공개합니다.

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