(국가연구개발과제) Blister 평가장비 구축

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공고일

2026-08-18 09:28:45

품목 분류

4111370601

공고 표기 단가

935,000,000원

공고 표기 수량

1 식(Set)

납품 조건

원문 확인 필요

자료 추출일

2026-11-01 (공고일과 다름)

규격과 구성

본 장비는 진공 및 수소 플라즈마 환경에서 EUV BIN 기준시료의 Blister 발생 특성과 평가 재현성을 확인하기 위한 주문제작형 평가설비로, Blister Tool 본체, 진공 챔버 및 진공 배기설비, 수소 플라즈마 발생설비, 가스 공급·평가압력 제어설비, RGA, Faraday Cup, 통합제어 및 데이터 저장설비로 구성한다. 공급범위에는 설계, 제작·조립, 운송·반입, 현장설치, 정상 시운전, 성능 안정화, 사용자 교육, 사용설명서 2부, 유지보수용 세부 PART LIST 및 시험·검사자료 제출을 포함한다. 필수 성능은 시료 미장착 상태 최대 진공도 10⁻⁷ Torr급, 실제 평가구간 H₂ Plasma 100%, 수 Torr 수준의 평가압력 구현이다. RGA는 Pumping-측정-Venting을 1 Cycle로 10회 반복하여 동일 질량수 신호강도가 10회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔIntensity≤5%이어야 하며, 신규 Peak 검출 또는 기존 지속 검출 Peak의 소실이 없어 ΔSpectrum=0이어야 한다. 동일 평가조건에서 10시간 이상 연속운전이 가능하고 진공도 변화율은 10% 이내, Emission Current 변화율은 5% 이내이어야 한다. Faraday Cup은 1시간 연속측정 전류가 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔCurrent≤5%이어야 하며, Pumping-플라즈마 발생-1시간 측정-Venting을 1 Cycle로 10회 반복할 때 각 Cycle 평균전류가 10회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔAverage Current≤5%이어야 한다. 동일 EUV BIN 기준시료와 동일 최종조건으로 5회 반복평가 시 Blister 발현시간이 5회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔBlister 발현시간≤5%이어야 한다. 계약상대자는 발주일로부터 16주 이내 장비 설치 및 정상 시운전을 완료하고, 28주 이내 최종검사에 합격하여 최종검수 승인을 받아야 한다. 최종검사에서는 필수 성능 전 항목을 충족하여야 하며, 미충족 시 계약상대자의 비용과 책임으로 보완·수리·교체 및 재검사를 실시한다. 하자보증기간은 최종검수 완료일로부터 1년이다.

[1^4111370601^반도체검사기]

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