SOURCE RECORD / 보존 공고
[순천향대학교 산학협력단] Wet station 구매
순천향대학교 산학협력단 · 공고번호 R26BK01721726 · 차수 000
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- 공고일
- 2026-09-09 16:49:03
- 품목 분류
- 2321118001
- 공고 표기 단가
- 13,750,000원
- 공고 표기 수량
- 2 대
- 납품 조건
- 원문 확인 필요
- 자료 추출일
- 2026-11-01 (공고일과 다름)
규격과 구성
1. Main Body 1) Size(mm): 1500 x 900 x 1950h 2) Frame: Al Profile 3) Body: Press Ivory PVC 8t, 5t Covering 4) Pipe Plumbing: PFA tube & C-PVC, PP pipe 5) Anti-Static N2 Gun 6) Anti-Static DI Gun 7) Work Plate: LDPP 10t 8) Up/Down Door Open 9) Regulator: N2 10) Lamp: Yellow 11) 선반 장착 12) Drain Line: Local Line 13) Exhaust Line & Damper 14) Controller: S/W Control Panel 2. Wet Station Module 1) Rinse Bath, 1set Size: 220 x 100 x 250, 6", 3sh Material: LDPP 10t Process Temp: Room Temp Diffuser Plate & Guide: LDPP 10t Drain: Plenum Area & Local Drain 2) DI Rinse Sink Size: 150 x 150 x 100 Material: LDPP 10t Gooseneck Type Drain: Plenum Area Operation Valve: Manual Valve 3. System Utility 1) Power: 220VAC, 1Ø, 15A 2) DI: VP16A, 2~3 kg/cm2 3) N2: 6mm, 2~5 kg/cm2 4) Drain: VP25A 5) Exhaust: VP150A, 1Port
[1^2321118001^웨이퍼식각기]
보존된 수정 이력
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| 차수 | 공고일 | 표기 단가 | 표기 수량 | 내용 |
|---|---|---|---|---|
| 000 | 2026-09-09 | 13,750,000원 | 2 대 | 현재 보는 보존본 |
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