[한남대학교 산학협력단]2026-11-01호 반자동연마기시스템 (MetPrep 3x™)구매

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공고일

2026-09-14 14:06:09

품목 분류

4110170801

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52,369,000원

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자료 추출일

2026-11-01 (공고일과 다름)

규격과 구성

Ⅰ. 용도 (End-user's Use) 1. 반도체의 각 레벨에서(Wafer, Chip, Package 등) 내부 구조 및 불량분석을 위한 정밀하게 전처리 하기 위한 필수 장비 2. 시료의 단면의 정보를 얻기 위해 정밀하게 연마할 수 있어 특성 및 불량분석 평가 3. 연마 조건 및 연마액 공급을 프로그램 할 수 있어 작업자의 편의성 확보. 4. 다량의 시편을 한번에 동일하게 연마할 수 있으며 재현성 있는 결과 도출. Ⅱ. 장비의 구성 (Configurations of Goods) 1. 주장비 (Main body) - 반자동 연마기 1 대 2. 보조장비 (Accessory) - 자동연마액 공급 장치 1 대 Ⅲ. 성능 및 규격 (Performance and Specification) (1) 플레이튼 속도, 하중 모드, 회전 방향 설정(파워헤드, 플레이튼), 사이클 시간, 연마액 설정, 샘플 하중값 설정(lbf 또는 N), 파워헤드 회전 속도 조절, 크리닝 설정, 소프트 스타트 및 하중 줄임 기능 설정을 포함하여 각각 최대 10개의 시퀀스에 10개의 개별 프로그램 저장 관리 (2) 7“ 컬러 터치스크린으로 모든 기능을 직관적으로 조절 가능 (3) 모터: 강력하고 조용한 0.7 HP(535 W) 블러시리스 DC 모터 (4) 일체형 부식 방지 RIM 구조 및 물 넘침시 내부 부품 보호 시스템 (5) 유량 조절 밸브가 있는 전자식 냉각수 제어 장치 (6) 마모 및 부식을 방지하는 아노다이징 처리된 플레이튼 적용 (7) 개폐식 냉각수 노즐 방식으로 쉽게 샘플/Bowl을 청소 가능 (8) 모든 부품을 알루미늄 및 스테인리스 스틸로 정밀하게 가공 (9) 내장 프로그래밍 및 자동 작동을 위한 자동연마액 공급장치 선택 가능. (10) 플레이튼 회전 속도: 20 – 600 RPM (10 RPM씩 조절가능) (11) 사이클이 끝날 때 홀더 분리 버튼이 자동으로 앞쪽으로 향하여 쉽게 분리 가능 (12) 응급 정지 버튼 (13) 하중 방식: 중앙하중식 또는 개별하중식 선택 가능. (14) 중앙 하중식: 시편 최대 9개까지 장착 (15) 중앙 하중식 값: 5-50 lb (22-220 N) (16) 개별 하중식: 시편 4개 이상 (17) 개별 하중식 값: 0-16 lb (0-70 N) (18) 소프트 시작 및 정지 압력 컨트롤 (19) 손쉽게 홀더를 장,탈착 가능하여 세척에 용이 (20) 파워헤드 안전 센서로 동작중 파워헤드를 올리면 자동 멈춤 (21) 파워헤드 안전 커버로 동작중 커버 오픈시 모든 기능 멈춤. 안전성 확보 (22) 파워헤드 회전 속도: 0-150 RPM (10 RPM씩 조절) (23) 파워헤드 모터: 0.33 HP(250 W) (24) 특수 제작된 정밀 시편 두께 장치로 시편의 식각량 조절 가능(1 micron 조절) (25) 5개 이상의 연마액 자동공급장치 (26) 고속 펌프로 구성된 4번, 5번은 노즐이 막히지 않게 Flush 기능이 자동으로 작동되어 옥사이드 폴리싱 연마제 사용에 적합 (27) 동작 전 자동으로 연마액을 공급하는 Prime 기능 설정. (28) 슬러리 타입 연마액 사용가능한 자석식 교반 장치 (29) Dimension : 자동연마기: 381(W) x 686(D) x 584(H) mm 연마액 자동공급장치: 203(W) x 635(D) x 229(H) mm (30) Weight : 자동연마기: 67 Kg 연마액 자동공급장치: 13 Kg 4. Accessories & Consumables (액세서리 & 소모품) - 8“ 아노다이징 처리된 알루미늄 플레이튼 1 개 - 8” 디스크 홀딩 밴드 1 개 - 샘플 홀더, (4) 50 mm (ID) Mounts, 개별하중식 1 개 - 스페이서 링 – 30 mm Mounts 3 개 - 파워헤드 안전 커버(개폐 센서) 1 개 - 정밀 샘플 두께 조질 필스쳐 1 개 - 정밀 샘플 두께 조절 픽스쳐 스탠드( 1micron 조절) 1 개

[1^4110170801^연마기]

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이 기록에서 조사로

정확한 모델·구성, 설치·배송·보증·세금, 계약·납품 단계와 당사자 설명을 확인해 사례로 만듭니다. 제보는 비공개로 검토하고 검토된 사례와 확인된 후속 기록을 공개합니다.

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