본 장비는 진공 및 수소 플라즈마 환경에서 EUV BIN 기준시료의 Blister 발생 특성과 평가 재현성을 확인하기 위한 주문제작형 평가설비로, Blister Tool 본체, 진공 챔버 및 진공 배기설비, 수소 플라즈마 발생설비, 가스 공급·평가압력 제어설비, RGA, Faraday Cup, 통합제어 및 데이터 저장설비로 구성한다. 공급범위에는 설계, 제작·조립, 운송·반입, 현장설치, 정상 시운전, 성능 안정화, 사용자 교육, 사용설명서 2부, 유지보수용 세부 PART LIST 및 시험·검사자료 제출을 포함한다. 필수 성능은 시료 미장착 상태 최대 진공도 10⁻⁷ Torr급, 실제 평가구간 H₂ Plasma 100%, 수 Torr 수준의 평가압력 구현이다. RGA는 Pumping-측정-Venting을 1 Cycle로 10회 반복하여 동일 질량수 신호강도가 10회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔIntensity≤5%이어야 하며, 신규 Peak 검출 또는 기존 지속 검출 Peak의 소실이 없어 ΔSpectrum=0이어야 한다. 동일 평가조건에서 10시간 이상 연속운전이 가능하고 진공도 변화율은 10% 이내, Emission Current 변화율은 5% 이내이어야 한다. Faraday Cup은 1시간 연속측정 전류가 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔCurrent≤5%이어야 하며, Pumping-플라즈마 발생-1시간 측정-Venting을 1 Cycle로 10회 반복할 때 각 Cycle 평균전류가 10회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔAverage Current≤5%이어야 한다. 동일 EUV BIN 기준시료와 동일 최종조건으로 5회 반복평가 시 Blister 발현시간이 5회 평균 대비 ±2.5% 이내이고 ΔBlister 발현시간≤5%이어야 한다. 계약상대자는 발주일로부터 16주 이내 장비 설치 및 정상 시운전을 완료하고, 28주 이내 최종검사에 합격하여 최종검수 승인을 받아야 한다. 최종검사에서는 필수 성능 전 항목을 충족하여야 하며, 미충족 시 계약상대자의 비용과 책임으로 보완·수리·교체 및 재검사를 실시한다. 하자보증기간은 최종검수 완료일로부터 1년이다.

납품 조건 확인

공고와 이력

2026-08-10 · R26BK01673150 / 000

글로브박스 구입

가천대학교 산학협력단

첨부참조

첨부 규격서 확인

공고와 이력

2026-08-10 · R26BK01672466 / 000

가속환경 부식시험기

조달청 전북지방조달청

규격서 참조

첨부 규격서 확인구성·단위 확인

공고와 이력

이 자료의 출처와 범위

조달청 물품 입찰공고 목록의 기존 응답을 2026-11-01에 추출했습니다. 103,460개 수록 레코드에서 공고번호·차수 중복을 제거했으며, 원천 API의 첫 페이지 위주로 보존된 자료입니다. 기관명이 다르게 수록된 37개 공고 차수에는 복수 표기를 함께 보존했습니다. 최신 원문·계약 체결 여부·취소 여부는 따로 확인해야 합니다.

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